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在包括等离子体发生部、等离子体输送管和等离子体处理部的等离子体处理装置中，在等离子体输送管的始端侧与终端侧之间插装绝缘体以及绝缘体，构成使等离子体输送管与等离子体发生部和等离子体处理部电气地独立的绝缘体插装型等离子体处理装置。将等离子体输送...
该专利属于日本磁性技术株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本磁性技术株式会社授权不得商用。

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