下载化学气相沉积法制备石墨烯的高质量转移方法的技术资料

文档序号:7124763

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本发明是一种化学气相沉积法制备石墨烯的高质量转移方法,该方法包括以下步骤:a.将通过化学气相沉积法在铜箔衬底上制备的石墨烯表面旋涂一层厚度均匀的聚甲基丙烯酸甲酯PMMA薄层,b.铜箔溶解,c.贴膜工艺,d.去除PMMA工艺采用本方法可以稳定...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。

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