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化学气相沉积法制备石墨烯的高质量转移方法技术

技术编号:7124763 阅读:2066 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术是一种化学气相沉积法制备石墨烯的高质量转移方法,该方法包括以下步骤:a.将通过化学气相沉积法在铜箔衬底上制备的石墨烯表面旋涂一层厚度均匀的聚甲基丙烯酸甲酯PMMA薄层,b.铜箔溶解,c.贴膜工艺,d.去除PMMA工艺采用本方法可以稳定、可靠、有效和高质量的转移出石墨烯,而且石墨烯杂质较少,可保证所制备石墨烯的完整性以及所具备的优异性能不会受到损害,满足石墨烯研究和应用的需要。采用本发明专利技术方法后,能高效、稳定、高质量的转移出完整且杂质少的石墨烯,为石墨烯的表征、研究和应用提供可靠的保障。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于材料科学
,是一种将石墨烯完整无损的转移到所需衬底上的技术。
技术介绍
石墨烯的研究和应用需要制备和转移出高质量的石墨烯,目前已开发出很多石墨烯的制备方法,其中化学气相沉积法由于制备气氛和环境的易控性,可以用来制备大面积的石墨烯,因而成为将石墨烯推向实际应用的最有效制备方法。 采用该技术制备石墨烯需要用金属催化剂(如铜、镍、钼等)做为生长衬底,再将在金属衬底表面(如铜膜或铜箔等)上制备的石墨烯“揭下”,粘贴转移到其他衬底(如硅片、玻璃片)上,才能对石墨烯进行透光性、导电性能等的表征以及器件制备等工作,而现有的石墨烯转移技术都存在一定的问题,例如转移过程中容易造成石墨烯的破损和引入其他杂质而影响石墨烯的性能和应用、操作复杂、工艺不稳定、杂质量难于控制等,因此,研发出一种高效、稳定的高质量石墨烯转移技术对于石墨烯的研究和应用具有重要意义。
技术实现思路
技术问题本专利技术的目的在于提供一种,解决上述目前石墨烯转移过程存在的问题,高效、稳定、高质量的转移出完整、杂质少的石墨烯。技术方案本专利技术的包括以下步骤a.将通过化学气相沉积法在铜箔衬底上制备的石墨烯表面旋涂一层厚度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉积法制备石墨烯的高质量转移方法,其特征在于该方法包括以下步骤:a.将通过化学气相沉积法在铜箔衬底上制备的石墨烯表面旋涂一层厚度均匀的聚甲基丙烯酸甲酯PMMA薄层,其厚度为0.5-1.0 mm, PMMA溶解于苯甲醚,增加PMMA量以增加胶体的粘度,浓度为0.1-0.13 mol/L度,铜箔尺寸为1-6cm2;b.铜箔溶解1)铜溶解剂选择过硫酸铵——(NH4)2S2O8具体步骤:将铜箔PMMA层朝上,使铜箔漂浮于溶液表面,生长时铜箔上下两表面均有石墨烯,未涂PMMA层的一面在腐蚀时,下底面分离出底面的石墨烯层而分散到腐蚀液中;待铜箔和另一面的石墨烯去除干净后,得到PMMA涂覆的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郭新立刘建双汤铨季伟光
申请(专利权)人:东南大学
类型:发明
国别省市:84

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