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一种离子真空镀钛组合物的方法，靶材为钛材，靶材的两端均施加独立工作的弧源电源，每个弧源电源分别进行电压高低或弧源电流大小的控制，即弧源电源电压高低或弧源电流大小的的变化分别施加于靶材的两端，根据两端施加的弧源电源电压的高低或弧源电源电流大小...
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