下载在玻璃基板上制备膜层的方法及其玻璃基板、膜系结构的技术资料

文档序号:7122681

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本发明实施例公开了一种在玻璃基板上制备膜层的方法,包括在玻璃基板单面或双面采用磁控溅射法生成抗反射增透混合膜层,该抗反射增透混合膜层为低折射率膜层与高折射率膜层的层叠结构;采用磁控溅射法在所述抗反射增透混合膜层另一面生成氮化碳化合物膜层。本...
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