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本发明提供了一种聚酰亚胺薄膜的制备方法，该方法采用旋涂法形成PI型聚酰亚胺薄膜，并利用腐蚀法剥离该层薄膜，该技术操作步骤包括：衬底清洗，腐蚀层的制作PI型薄膜层旋涂，PI型薄膜层热处理和PI型聚酰亚胺层薄膜腐蚀剥离等；衬底一般采用抛光的硅片...
该专利属于北京金盛微纳科技有限公司;北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京金盛微纳科技有限公司;北京理工大学授权不得商用。

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