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本实用新型涉及一种对准装置，用于校准离子注入装置中晶圆装卸控制件的若干抓头的实际分布位置是否偏离其标准分布位置，包括主体以及设置于所述主体上的若干对准标记，所述若干对准标记的分布位置与所述晶圆装卸控制键的若干抓头的标准分布位置一一对应。可利...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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