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本发明涉及一种除雾装置及空气净化装置。其中空气净化装置设置在显像装置、腐蚀装置、洗涤装置等的湿式处理装置上，通过循环装置内的空气，可以减少设置时的成本，进而可以防止环境的破坏。装置内的空气通过风扇用过滤器单元（９）进行过滤，用过滤器单元（９...
该专利属于日本雅克亚株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本雅克亚株式会社授权不得商用。

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