除雾装置及空气净化装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种除雾装置及空气净化装置。其中空气净化装置设置在显像装置、腐蚀装置、洗涤装置等的湿式处理装置上，通过循环装置内的空气，可以减少设置时的成本，进而可以防止环境的破坏。装置内的空气通过风扇用过滤器单元（９）进行过滤，用过滤器单元（９）进行过滤了的空气通过导管（１０）吹到各装置的入口（６）及出口（７）附近。在各装置的入口（６）及出口（７）造成负压，所以从导管（１０）出来的空气返回到装置本体的内部。这样可以使装置内的空气循环，降低设置时的成本，进而防止环境的破坏。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及回收空气中的雾沫等的除雾装置、及空气净化装置，其是设置在向被加工物喷射药液的湿式处理装置上。
技术介绍
以往，就存在将被加工物腐蚀，形成规定电路图形的印刷板的腐蚀系统。在被加工物的电路板表面形成大约均匀的导电性膜，在该导电性膜上进而大致均匀地形成光致抗蚀剂膜。腐蚀系统是由曝光上述被加工物，在上述光致抗蚀剂膜中复印电路图形的曝光装置、被加工物上复印到光致抗蚀剂膜的电路图形显像的显像装置、对被加工物喷射腐蚀液，将上述导电性膜形成电路图形的腐蚀装置、洗涤被腐蚀了的被加工物的洗涤装置等的多个装置排列的结构。构成这些腐蚀系统的多个装置是用输送被加工物的输送通路连接着的。另外，各装置用形成被加工物的入口及出口的盖覆盖，是为了防止装置内所使用的显像液和腐蚀液飞溅到装置外部而构成的。上述显像装置、腐蚀装置及洗涤装置一般称为湿式工艺处理装置。这样，在湿式工艺处理装置内若向被加工物喷射药液时，在空气中则漂浮酸性或碱性的药液雾沫。由于各装置设置着盖，所以雾沫不会从装置直接流出，但是在装置内的雾沫的浓度高时则会对制造中的被加工物(印刷电路板)产生坏的影响。为此，以往的湿式工艺处理装置上设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种除雾装置，是为了除去含在空气中的雾沫的除雾装置，其特征是在装置内形成的空气流路中，具有为了将含在空气中的雾沫通过惯性冲突除去，使空气进行冲突的惯性冲突部件和、为了将含在空气中的雾沫捕集成液体粒子除去而喷射液体的喷雾部分和、配置在下游侧，为了通过时捕集除去含在空气中的雾沫可使空气通过的细密的过滤器和、向流路内通入空气的风扇。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：赤濑川胜雄，
申请(专利权)人：日本雅克亚株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]