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本发明公开了一种激光位移传感器控制的预对准方法，采用了一种灵活的预对准方法，把掩膜板放置在高精准平台上，利用激光位移传感器自动寻找边界，计算掩膜板中心点，实现精确的预对准功能。本发明直接利用可控的高精准平台移动和激光位移传感器精确计算掩膜板...
该专利属于合肥芯硕半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯硕半导体有限公司授权不得商用。

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