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本发明提供了一种太阳能电池片制备中的扩散工艺。步骤包括：a、将硅片于氮气气氛下低温热处理；b、将步骤a所得处理后的硅片在860-1200℃于C2H2Cl2、氮气和氧气气氛下进行氧化处理；c、将步骤b所得处理后的硅片通磷源在氮气和氧气氛围下进...
该专利属于比亚迪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过比亚迪股份有限公司授权不得商用。

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