下载膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备的技术资料

文档序号:7093033

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一种用于平整蒸镀膜料的膜料加工装置,其包括一具有一收容膜料的容置孔的坩埚,一与容置孔相配合以平整容置孔内的膜料的平整盖,一具有一与平整盖相耦合的驱动轴的驱动器,及一包括一光源及一影像感测装置的监控装置。平整盖具有一与容置孔的形状相对应的平整...
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