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低温键合制备铜-陶瓷基板方法技术
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文档序号:7089966
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本发明提供了一种低温键合制备铜-陶瓷基板的方法。首先将铜合金片选择性腐蚀得到含多孔纳米结构的铜片,然后在一定的温度、压力和保护气氛作用下,将铜片热压键合到沉积有金属薄膜的陶瓷片上,得到单面或双面含铜层的铜-陶瓷基板,最后通过图形腐蚀工艺制备...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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