下载带导气环的晶体生长炉热场装置的技术资料

文档序号:7087035

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及单晶硅领域,尤其涉及一种晶体生长炉。一种带导气环的晶体生长炉热场装置,包括炉筒体、保温桶、加热器、石墨坩埚、石英坩埚和导流筒,所述的保温桶安装在炉筒体内,加热器安装在炉筒体的底部,所述的保温桶外包覆有保温碳毡,所述的石墨坩埚放...
该专利属于宁夏日晶新能源装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏日晶新能源装备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。