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一种磁水分离型平面磁控溅射靶，包括冷却进水管1、冷却出水管2、导磁板3、阴极体4、靶材压环5、螺钉6、靶材7、中心极靴8、中心永磁块9、边极靴10、边永磁块11和下密封圈13，阴极体4上有圆环形矩形槽41，其中心有圆形盲孔42，圆环形矩形槽...该专利属于衡阳市真空机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过衡阳市真空机电设备有限公司授权不得商用。
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一种磁水分离型平面磁控溅射靶，包括冷却进水管1、冷却出水管2、导磁板3、阴极体4、靶材压环5、螺钉6、靶材7、中心极靴8、中心永磁块9、边极靴10、边永磁块11和下密封圈13，阴极体4上有圆环形矩形槽41，其中心有圆形盲孔42，圆环形矩形槽...