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本发明提供了一种利用化学镀制备LED芯片的p电极的方法,包括以下步骤:在LED外延片的p-GaN层上制备相互间隔的纳米金属颗粒,并刻蚀该p-GaN层,使得该p-GaN层表面为纳米结构;利用掩膜将所述LED外延片的激活区域镀上激活液,以对该L...该专利属于协鑫光电科技(张家港)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过协鑫光电科技(张家港)有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种利用化学镀制备LED芯片的p电极的方法,包括以下步骤:在LED外延片的p-GaN层上制备相互间隔的纳米金属颗粒,并刻蚀该p-GaN层,使得该p-GaN层表面为纳米结构;利用掩膜将所述LED外延片的激活区域镀上激活液,以对该L...