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喷射化学镀加工多层膜的方法及装置制造方法及图纸
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下载喷射化学镀加工多层膜的方法及装置的技术资料
文档序号:7083631
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一种喷射化学镀加工多层膜的方法及装置,其特征是在基体周围利用隔板分隔成多个工作腔,并至少安装着两个或多个化学镀的喷射单元,每个化学镀的喷射单元由独立的镀液循环系统提供镀液,由镀液温控系统控制镀液温度,基体按照设定的速度作旋转或摆动,连续、反...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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