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一种硅表面纳米多孔减反射结构的制备方法技术
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文档序号:7083352
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本发明公开了属于太阳能电池技术领域的一种硅表面纳米多孔减反射结构的制备方法。本发明采用(100)或(111)取向单晶硅片,将清洗后的硅片直接浸入到酸性刻蚀溶液中,经短时间(2-10分钟)刻蚀后在硅表面形成纳米多孔结构,获得了较好减反射效果的...
该专利属于华北电力大学所有,仅供学习研究参考,未经过华北电力大学授权不得商用。
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