温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用以化学吸附氢化物气体的洁净剂，该氢化物气体选自硅烷、四氢化锗、二硼烷、磷化氢与砷化氢所组成的族群，该洁净剂包含至少一员选自铜、锌、镁及锰的氧化物所组成的族群的活性成份，及至少一员选自铝、硅及钛的氧化物所组成的族群的载体成份，其中该活性...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。