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一种用于从气流中除去不良成分（如卤化合物、酸性气体、硅烷、氨等）的系统，通过用含水的洗涤介质洗涤废气流。卤化合物（如氟气、氟化物、全氟碳化合物和含氯氟烃）在存在还原剂（如硫代硫酸钠、氢氧化铵或碘化钾）的条件下被洗涤。在一个实施方案中，洗气系...
该专利属于高级技术材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过高级技术材料公司授权不得商用。

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