下载单晶硅片的清洗工艺的技术资料

文档序号:7080252

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本发明涉及一种单晶硅片的清洗工艺,包括如下步骤:(1)预冲洗:将单晶硅片依次在四槽脱胶机的四个槽中进行清洗;(2)脱胶:将预冲洗后的硅片进行人工脱胶;(3)超声波清洗:将脱胶后的硅片浸入六槽式超声波清洗机中清洗;(4)甩干:将清洗后的硅片在...
该专利属于无锡尚品太阳能电力科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡尚品太阳能电力科技有限公司授权不得商用。

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