下载利用基板对位孔测量基板变形量的测量装置的技术资料

文档序号:7072165

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本实用新型公开了一种利用基板对位孔测量基板变形量的测量装置,包括一承载平台,该承载平台的顶面供承载一基板,该基板邻近其四边中央的位置上分别开设一对位孔;一透明板体,设在承载平台的上方,透明板体邻近其四边中央的位置分别设一基准图样,透明板体的...
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