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一种铝钛硅合金靶材及其制备方法，该铝钛硅合金靶材由以下质量百分比的原料制成：铝5%－90%，钛5%－90%，硅1%－30%。本发明还包括铝钛硅合金靶材的热压烧结制备方法。本发明之铝钛硅合金靶材及其热压烧结制备方法，合金成分均匀，合金靶材相对...
该专利属于余鹏所有，仅供学习研究参考，未经过余鹏授权不得商用。

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