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本发明的三通道微机械固支梁间接式微波功率传感器不但具有传统热电式功率传感器的优点，如低损耗、高灵敏度和好的线性度，且实现了三通道微波功率的测量，同时也能够检测其中哪些通道输入了微波功率及其微波功率大小的比例，具有高的集成度和与砷化镓单片微波...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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