下载一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法及其装置的技术资料

文档序号:7067436

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本发明涉及一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法及其装置,其方法是用激光和电化学同时对多晶硅片进行复合加工,在多晶硅片加工表面形成阵列光陷阱结构,同时电解液对多晶硅片表面产生电化学腐蚀,光整加工表面。实现上述方法的装置包括激光器5和电解机构15、...
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