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一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法及其装置制造方法及图纸

技术编号:7067436 阅读:217 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法及其装置,其方法是用激光和电化学同时对多晶硅片进行复合加工,在多晶硅片加工表面形成阵列光陷阱结构,同时电解液对多晶硅片表面产生电化学腐蚀,光整加工表面。实现上述方法的装置包括激光器5和电解机构15、电源1和工作台11;电解机构15主要由电解槽底座13、电解槽盖板4、阴极8、阳极12、工件安装夹具14、密封圈10和光学防护镜7组成,多晶硅片置于电解槽中,且将电解槽分为二室,从而使得多晶硅片成为电解时的唯一电流通道。本发明专利技术提供了一种多晶硅太阳电池的高效绒面新加工方法,其产品具有高重复性、良好高宽比性能,可获优于纯化学腐蚀制备绒面的减反射效果,对提高光电转换效率有重要作用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法,其特征在于,将多晶硅片置于电解槽中,且使多晶硅片为电解时的唯一电流通道,用聚焦激光束对多晶硅片表面进行扫描,同时进行电解,激光束的扫描使多晶硅片表面形成阵列光陷阱结构,电解液对多晶硅片表面产生电化学腐蚀,光整加工表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张华花国然居志兰王强
申请(专利权)人:南通大学
类型:发明
国别省市:32

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