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一种射频(13.56MHz)磁控溅射制得的硬质B-C-N光学薄膜，其是在玻璃基体表面形成了与基体良好结合的B-C-N光学薄膜；同时，选用了合适的石墨/硼复合靶以及相应的溅射工艺参数，获得了接近于BC2N化学计量比的高性能薄膜；同时经过热处理...该专利属于宁波市瑞通新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波市瑞通新材料科技有限公司授权不得商用。
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一种射频(13.56MHz)磁控溅射制得的硬质B-C-N光学薄膜，其是在玻璃基体表面形成了与基体良好结合的B-C-N光学薄膜；同时，选用了合适的石墨/硼复合靶以及相应的溅射工艺参数，获得了接近于BC2N化学计量比的高性能薄膜；同时经过热处理...