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本实用新型涉及硅太阳电池湿法刻蚀设备领域，特别是一种湿法刻蚀槽，包括内槽、外槽和内外槽药液循环装置，在内槽的槽体内安装沿槽体延伸的带孔的管路，管路上的孔沿管路分布，管路与内外槽药液循环装置的出口连通。本实用新型的有益效果是：该方法改用从内槽...
该专利属于常州天合光能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州天合光能有限公司授权不得商用。

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