下载菜花状及表面附氧化物的多晶硅原料的清洗装置的技术资料

文档序号:7054570

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本实用新型涉及一种菜花状及表面附氧化物的多晶硅原料的清洗装置,包括酸洗池、溢流池和超声波溢流清洗池,溢流池由至少一个隔板依次分隔成至少两个水池,每个水池的底部具有排水口,相邻的两个水池之间的隔板的上沿具有溢流开口;超声波清洗池包括清洗水池和...
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