温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及选择性沉积的薄膜器件以及形成选择性沉积的薄膜的方法。一种用于在衬底上选择性沉积薄膜结构(515)的方法。该方法包括提供工艺气体(709)至该衬底表面(705)以及将来自能量源(701)的集中电磁能(703)引导至表面(705)的至...
该专利属于初星太阳能公司所有，仅供学习研究参考，未经过初星太阳能公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。