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一种全对称杠杆放大电容式微机械陀螺制造技术
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文档序号:7053981
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本发明公开了一种采用微机电系统(MEMS)技术实现的杠杆式放大电容检测的微机械陀螺,属于制导领域。该陀螺在驱动方向和检测方向均采用了杠杆放大机构,其有益效果是:1.对驱动方向,利用杠杆对驱动电压产生的驱动力进行放大,较小的驱动电压通过杠杆使...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。
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