下载一种传动设备和载板的技术资料

文档序号:7053524

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本实用新型的实施例提供了一种传动设备和载板,涉及机械技术领域,为有效提高传输稳定性而设计。所述传动设备,包括传动轨道和用于承载被传动物的载板,所述载板在所述传动轨道上被传送,所述传动轨道的两侧分别设置有导向轨,所述导向轨上设置有凹槽,所述凹...
该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。

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