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蓄电装置及其制造方法制造方法及图纸
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下载蓄电装置及其制造方法的技术资料
文档序号:7052531
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本发明的目的之一在于提供一种具有在硅层中引入有锂的电极的蓄电装置及其制造方法。通过在集电体上形成硅层,在硅层上涂敷含有锂的溶液,并进行热处理,可以对硅层中至少引入锂。通过利用含有锂的溶液,即使使用由多个硅微粒形成的硅层,含有锂的溶液也进入微...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。
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