下载一种硅片脱胶装置的技术资料

文档序号:7051418

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本实用新型提供了一种硅片脱胶装置,它包括前端板,后端板,两根上夹轴,两根下夹轴,前端板上设置两个上轴孔和两个下轴孔,后端板相应位置设置两个上轴孔和两个下轴孔,上轴孔之间的距离要大于下轴孔之间的距离,它还包括两根中夹轴,在前端板和后端板上对应...
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