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文档序号:7049627
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本发明提供一种能够紧凑化、并且能够高精度地控制对象流体的加热条件的加热装置。加热装置(10)具有加热炉主体(20)、管路(26)、炉内加热部(22)。管路连通加热炉主体的内外。在管路中流有对象流体。炉内加热部设置在加热炉主体内。炉内加热部对...
该专利属于株式会社ITEC所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社ITEC授权不得商用。
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