下载加热块装置的技术资料

文档序号:7043910

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本发明涉及一种加热块装置,所述加热块装置包括:加热块底座、设置于加热块底座上的真空孔以及设置于加热块底座上的吸附装置,所述加热块底座和吸附装置之间设置有与真空孔相连通的真空腔体。通过本发明优化的设计和结构,基板或框架不会出现位移、松脱和翘曲...
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