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本发明公开了一种薄膜晶体管基板及其制造方法，制造方法包括：在薄膜晶体管基板上设置第一金属层后，对该薄膜晶体管基板进行退火处理，使该第一金属层的晶格重新排列，防止第一金属层产生晶界缺陷。本发明通过在薄膜晶体管基板形成第一金属层后，对该薄膜晶体...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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