【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及液晶显示
，尤其是涉及一种。
技术介绍
目前，使用液晶显示器已成为一种潮流。液晶显示器具有高画质、所占体积小、功率消耗低辐射小等优点。随着液晶显示器技术的日益成熟，使得液晶显示器广泛应用到各个领域中。现有的液晶显示器大都设有薄膜晶体管基板、彩色滤光片基板以及设置于两基板之间的液晶层。其中，薄膜晶体管基板包括基板本体和设置的基板上的两层金属层，该两层金属层之间还设置有绝缘层等其他层。其中，上述薄膜晶体管基板设置的两层金属层，一般通过物理气相沉积金属镀膜的方式形成。采用这种方式产生的金属层存在晶格界面的缺陷，薄膜晶体管基板在后续的高温制程中，因金属层的晶格界面的缺陷，金属层中的金属可能因温度的升高而向晶格界面缺陷的方向凸起，形成金属小丘，该金属小丘甚至可穿透绝缘层，从而导致在通电的情况下两金属层产生短路现象。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种薄膜晶体管基板及其制造方法，防止薄膜晶体管基板中金属层的晶格界面缺陷，防止金属层小丘现象的发生。本专利技术提出一种薄膜晶体管基板的制造方法，包括在薄膜晶体管基板上设置第一金属层后，对该薄膜晶体管基...
【技术保护点】
１．一种薄膜晶体管基板的制造方法，其特征在于，包括：在薄膜晶体管基板上设置第一金属层后，对该薄膜晶体管基板进行退火处理，使该第一金属层的晶格重新排列，防止第一金属层产生晶界缺陷。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑文达，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：94
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