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多晶硅冷氢化反应器气流分布板，在多晶硅冷氢化反应器内部的一个水平截面上安装分布板，在分布板上均匀布孔。孔的面积占整个分布板面积的20-80%。本实用新型使多晶硅冷氢化反应器混合气体能够均匀分布，且降低气体流速，内部混合气体能够充分发生反应，...
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