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本发明涉及一种多晶或单晶硅废料回用去胶工艺及专用退火炉，包括炉体及密封装置、炉门及启闭压紧装置、台车及台车牵引机构、加热元件及固定装置、风冷装置和温度自动控制系统，本发明的多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉及去胶工艺，节省了大量劳动力，...
该专利属于江苏兆晶光电科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏兆晶光电科技发展有限公司授权不得商用。

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