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本实用新型公开一种高材料利用率的溅镀靶材，其包含一基板，其为一板体；两轨条，其相互间隔且平行地成形于基板上；及两嵌块，其分别对应可拆卸地固定于基板上，对应于该两轨条之间的两端处，且与该轨条接连而形成一围绕一空间的封闭轨道，而通过制作外型对应...
该专利属于乔集应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乔集应用材料股份有限公司授权不得商用。

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