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本实用新型提供了一种抛光布，其表面分布有流液槽，其中，流液槽呈太阳放射线形状。本实用新型提出的抛光布，其表面流液槽的样式简单、易于加工，可以减少碎屑及毛丝残留物，使用时可以大大提高药液置换频率，使药液流动通畅、均匀分布，并可以减少晶片表面加...
该专利属于北京通美晶体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京通美晶体技术有限公司授权不得商用。

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