下载位置测量装置的技术资料

文档序号:7019399

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本发明公开一种位置测量装置。该位置测量装置包括多个凹陷标记、光源部分、光接收部分和凹陷部测量部分。各个凹陷标记形成在作为待测量对象的物体的外壁上。多个凹陷标记中的每一个包括设置在以预定的凹陷标记中心位置作为圆心的同心圆上的多个凹陷部。在各个...
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