下载大直径单晶炉勾型电磁场装置的技术资料

文档序号:7018246

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本实用新型涉及硅单晶材料加工设备,旨在提供一种大直径单晶炉勾型电磁场装置。该装置包括用于产生勾型电磁场的直流线圈,还包括至少两个充满冷却油的环状密闭容腔,且上下叠加呈中空的圆筒状;每个密闭容腔均由位于外侧的半包围式的屏蔽体、位于内侧的内筒和...
该专利属于杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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