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本实用新型提供一种超声波除泡装置和涂布装置，当需要去除气泡的试剂进入密封容器后，通过超声波发生装置将超声波发射至所述密封容器，利用超声波将气泡从所述试剂中分离出，通常是将氮气等一些气体从所述试剂中分离出。同时，利用密封容器上的气体出口将从试...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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