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本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜设备，其包括真空箱、设于所述真空箱内的移动小车、与所述移动小车连接并驱使所述移动小车作水平移动的直行驱动装置、与所述直行驱动装置连接的靶连接座、分别与所述直行驱动装置以及靶连接座连接并驱动所述靶连接座作纵向移...
该专利属于广东中环真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东中环真空设备有限公司授权不得商用。

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