下载用于多晶铸锭炉的气体冷却装置的技术资料

文档序号:7013621

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本实用新型涉及铸造法生长硅晶体的装置,旨在提供一种用于多晶铸锭炉的气体冷却装置。该气体冷却装置设于铸锭炉内热场下方,是内部带有气流通道的石墨体。本实用新型通过在热场底部增加一个主动散热的气体冷却装置,并通过调节通入装置内的气体流量控制主动散...
该专利属于上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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