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一种用于区熔气相掺杂的高频加热线圈，它包括：由线圈主体和线圈附属导气管组成。线圈主体可为普通的平板线圈，线圈附属结构是一定数目的铜金属导气管。平板线圈中埋放的铜导气管一端开口于线圈外边缘处，一端开在线圈刃口处。此加热线圈通过添加附属通气管可...该专利属于北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司授权不得商用。