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从硅片切割加工副产物中回收切割液的方法技术
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文档序号:700828
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本发明涉及一种从硅片切割加工副产物中回收切割液的方法。按照本发明提供的技术方案,硅片切割加工副产物经混合均匀后,加入分离剂,混合温度为常温或50~80℃;由机械分离器获得50~95%的富碳化硅浆料和5~50%的贫碳化硅悬浮液;富碳化硅浆料用...
该专利属于江南大学所有,仅供学习研究参考,未经过江南大学授权不得商用。
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