下载从硅片切割加工副产物中回收切割液的方法的技术资料

文档序号:700828

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本发明涉及一种从硅片切割加工副产物中回收切割液的方法。按照本发明提供的技术方案,硅片切割加工副产物经混合均匀后,加入分离剂,混合温度为常温或50~80℃;由机械分离器获得50~95%的富碳化硅浆料和5~50%的贫碳化硅悬浮液;富碳化硅浆料用...
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