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本发明公开了一种硅化镁法工艺生产硅烷过程中所排放氨气的回收循环利用方法，其工艺步骤为：将硅化镁法工艺生产硅烷过程中产生的残渣排入氨气回收罐；当氨气回收罐内残渣温度上升，压力增高，氨气从渣体逸出，到达０．１ＭＰａ，氨气经过滤除尘、除硅烷后进入...
该专利属于南京特种气体厂有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京特种气体厂有限公司授权不得商用。

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